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    超邁南光:公司全固態射頻電源配套電子科技大學
    發布者:管理員 發布時間:2017-07-30 21:42:36 閱讀:204

    7月14日,公司與電子科技大學達成合作協議,共同研制的全固態射頻電源,運用于磁控濺射設備,滿足高端薄膜制備的需要,雙方共享由此產生的專利和收益。

    背景:射頻電源是等離子體配套電源,它是由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計組成,是八十年末期在我國新興的高科技領域,應用于射頻濺射,PECVD 化學氣相沉積,反應離子刻蝕等設備中.

    現代的射頻電源有了長足發展,由八十年代的電子管電源一步步的發展成現在的晶體管射頻電源,功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦,頻率有2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz/40.68Mhz等,而應用也從以前的真空領域擴展到其他領域,半導體、美容等。
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