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    名稱:成都超邁南光科技有限公司
    地址:四川成都高新區世紀城路599號
    手機:18011586919
    郵箱:china-vacuum@163.com
    聯系人:周經理

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    氣象沉積爐
    產 品 說 明

    該設備吸收德國某公司技術開發,采用中頻感應加熱方式,在真空條件下通過物理氣相傳輸法生長優質光學晶體,能夠生長碳化硅等第三代半導體材料,可根據客戶實際需求定制。

    本系統采用單室立式雙層水冷不銹鋼結構。由爐膛、真空獲得系統、真空測量系統、籽晶桿提拉旋轉機構、坩堝桿拉送系統、感應加熱系統、電控系統等組成,其技術指標如下:

    爐體

    主爐膛

    尺寸Φ610×850 mm

    提拉機構

    轉速

    0~30rpm

    提拉速度連續可調范圍

    0.06~6㎜/h

    快提拉速度連續升降可調

    ≥40㎜/min

    有效行程

    410㎜

    真空

    主泵

    分子泵

    前級泵

    油封泵(可選配干泵)

    閥門

    SUS304波紋管軸封高閥

    極限真空

    6.6×10-5Pa

    系統漏率

    停泵關機12小時后真空度≤10Pa

    坩堝傳動機構

    轉速

    0~30rpm變頻可調

    升速范圍

    0.03~6㎜/h可調

    快提拉速度連續升降可調

    ≥40㎜/min

    有效行程

    560㎜

    額定總功率

    根據客戶需求確定中頻電源,推薦使用50KW

    占地面積

    主機+控制柜+中頻電源

    2200×2500mm2

    特別說明:對于采購國外一流設備進行晶體生長且生長工藝嫻熟的研發人員,我司愿與其聯合研發共同制造,按照生長工藝定制生產設備。

    點擊數:208  錄入時間:2017-07-29 【打印此頁】 【關閉
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